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Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC

Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC集成过程控制,操作快速简便

简单直观的莱特格 RGA 软件

集成在可独立移动的推车中

特高压针阀,可在不同压力水平直至大气压下灵活运行

  • 产品型号:100
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-11-11
  • 访  问  量:267
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详细介绍

1、 Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC概述


LEYSPEC 残余气体分析仪 (RGA) 产品系列可实现简单直观的操作。

只需按一下按钮,您就可以显示关键气体的分压,如果您的工艺涉及额外的气体,您可以将其分配给备用显示通道。

由于可实现的高烘烤温度,LEYSPEC 非常适合用于要求苛刻的高真空和超高真空应用。



2、加工原则


测量池是热阴极电离真空计。电子从热丝发射,并通过电偏置加速到源头。快速移动的电子与气体分子碰撞,使电子移位,从而使它们电离。正气体离子将其电流提供给负负载的离子收集器。离子电流与压力成正比。离子越多,离子电流越高。四极杆阵列由四根不锈钢棒组成。直流和高频电压施加到所有杆上。这会产生复杂的磁场。通过改变电压,磁场得到控制。

由此产生的振动仅允许特定质量的离子“飞过"它并到达检测部分:

具有适当质荷比(m / e)的离子将以稳定的三维轨迹通过两极振荡。

不正确的m/e离子将失控振荡并与两极碰撞

离子到达离子收集器并提供输出电流,该电流是通过过滤器的离子相对丰度的量度。然后,离子电流或分压相对于m/z比显示在装置或软件中。


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移动式残余分析仪系统

Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC推车带有集成的差动泵系统,具有最大的灵活性和易于操作。

它是一个独立的泵送系统,可轻松适应各种测量任务,在各种压力下具有快速的运行准备和可操作性。


我们的解决方案:

配备 SCROLLVAC 7 plus 和 TURBOVAC 350 i 的独立泵送系统 

集成过程控制,操作快速简便

简单直观的莱特格 RGA 软件

集成在可独立移动的推车中

特高压针阀,可在不同压力水平直至大气压下灵活运行



紧凑且简单

所有产品均配有集成显示屏,操作简单快捷,LEYSPEC软件则用于复杂的测试程序和残余气体分析。LEYSPEC产品系列尺寸紧凑,可安装在任何方向,非常适合不同的内置情况。

由于界面直观,LEYSPEC残余气体分析仪非常易于操作。只需按一下按钮,您就可以显示关键气体的分压,如果您的工艺涉及额外的气体,您可以将其分配给备用显示通道


直观的软件

智能直观的莱特软件完善了产品。用户友好的界面允许广泛的用例,从简单的操作到复杂的分析。创建食谱非常简单:快速方便。

在操作过程中,将显示总压力,并可以选择不同的视图来适应视图以进行分析。在扫描模式、趋势模式或模拟模式之间进行选择


高级功能

预安装的软件功能允许许多附加功能和测试程序,例如氦气泄漏测试或为可选气体设置警告和错误级别。实现了可编程脱气功能,用于启动或暴露在大气中的简单工艺脱气。背景抑制允许聚焦在重要的峰值上。


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