Bronkhorst气体质量流量计FG-110C用于质谱

Bronkhorst气体质量流量计FG-110C用于质谱

气体流量测控

Bronkhorst气体质量流量计和控制器，精度高、重复性好、响应快速。

热式原理 和 科里奥利原理，种类齐全，可选量程宽。可为实验室、设备、工业和危险区域的应用提供多种标准和定

制仪器。

量程范围 从 0.014 mln/min 到 11000 m3n/h (等量N2)。小流量科里奥利质量流量计和流量控制器不受流体特性影响，

既可用于气体，也可以用于液体。

EL-FLOW PRESTIGE

EL-FLOW Prestige 作为Bronkhorst新一代热式气体质量流量计/控制器，在通用性和用户操作方便性方面具有

突破性的变革与创新。

创新的信号处理技术

稳定的流量控制，受过程波动的影响低

创新型控制阀设计

一个产品即可预置多种气体曲线并根据需要设定量程范围

显著降低能耗

可实现多种通讯方式及客户定制的I/O功能

最小流量: 0.014…0.7 ml/min

最大流量: 2…100 l/min

特点

高精度 (standard 0.5% Rd plus 0.1% FS)

量程比高达1：150

迅速的动态响应

多气体/多量程功能（可选100种气体;量程可在40％-120％进行拓展，也可直接订制量程范围（FS值）

耐压能力10/64/100bar

模拟I/O信号，RS232连接;可选现场总线通讯

多种可选的用户自定义I/O配置

用户可编程的控制特性

坚固的金属外壳

安全性 IEC 61010-1

应用领域

大学及研发机构，研发设备

分析/环保设备

食品、化工、石化等行业的气体流量监控

气体计量系统中的气体消耗监测

气体泄漏检测系统

半导体制造业

表面处理设备

测量/控制系统

精度(包括线性) ±0.5% 

重复性 < ± 0.04% 

量程比 1:150;

设定时间（控制） < 500 ms

运行温度 -10…70°C

温度敏感性< 0.02%

压力敏感性  < 0.15% 

集成压力传感器精度 (PI选项) ± 0.25% 

泄漏率  < 2 x 10-9 mbar l/s 

预热时间 30 min. 

电源 +15…24 Vdc

量程范围 0.014…0.7 ml/min -0.18…9 ml/min

压力等级 100 bar

Bronkhorst气体质量流量计FG-110C用于质谱